Ứng dụng của SEM,TEM Mình đang phải trình bày về các ứng dụng của kính hiển vi điện tử quét (SEM) và Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM). Bạn nào biết thì chỉ cho mình một số ứng dụng chính của thiết bị này với. Nếu có thể thì bạn gửi cho mình xin một số tài liệu tham khảo vào hòm thư của mình: trantrungkien85@gmail.com Cảm ơn về sự giúp đỡ của mọi người!
Ứng dụng thực tế là sao hả bạn ? SEM và TEM là 2 loại hiển vi điện tử vậy ứng dụng của nó là để quan sát. Điều này chắc bạn đã biết rồi thì còn muốn hỏi thêm gì nữa nhỉ. Cụ thể hơn thì bạn nên đọc thêm lí thuyết.
Scanning electron microscopy (SEM) và transmission electron microscopy (TEM) đều được dùng để khảo sát cấu trúc của vật chất. Vì năng lượng của electron beam được tạo ra trong mỗi loại microscope này khác nhau nên nói chung là mỗi phương pháp có resolution khác nhau. Một vài chức năng cơ bản của SEM: - Khi sử dụng secondary electron detector thì bạn có thể khảo sát topography và grain size của vật liệu. - Back-scattered electron detector thì nhạy cảm hơn với atomic number nên bạn có thể sử dụng phase contrast để xác định những phases khác nhau trong vật liệu. - Một SEM bình thường hay có gắn x-ray detector cho phép bạn làm elemental analysis (energy-dispersive spectrometry -- EDS). Một vài chức năng cơ bản của TEM: - Cũng như SEM, bạn có thể có được những hình ảnh về grains, phases nhưng thường ở resolution tốt hơn. High resolution TEM (HRTEM) cho phép bạn khảo sát cấu trúc ở interface mà SEM hay TEM không cho phép. - Bạn có thể làm electron diffraction để xác định crystal structure. - Tương tự như SEM, TEM thường cũng có EDS. Ngoài ra, một số TEM có gắn cái spectrometer tốt hơn cho phép bạn làm electron energy-loss spectrometry (EELS) với resolution tốt hơn EDS. Mình chỉ dùng SEM, TEM như công cụ để khảo sát cấu trúc vật liệu mà mình quan tâm, chứ mình không đi sâu về SEM và TEM. Do đó, có thể có những advanced topics về SEM và TEM mình chưa biết.
Một advanced khá phổ biến của SEM hiện nay là khảo sát cấu trúc linh kiện của MEMS/NEMS và E-beam lithography để chế tạo MEMS/NEMS device. Các lab thường có 2 loại SEM ( SEM và FESEM), 2 loại TEM (TEM và HRTEM)
